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Overlay 半導體
2008年8月29日—微影疊對(overlay)顧名思義就是層對層(layertolayer)。晶片製造過程中,製程整合等工程人員依據電路線寬等特性,將龐雜的電路走線區分為不同光罩層 ...,AUROSOverlay影像檢測機台OL100OL-100台灣...母公司FST,Ltd.創立於1987年,為韓國著名的的半導體...
TW201327027A
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本發明係有關於半導體製程之光罩對位(maskoverlay)技術。製作半導體裝置時,半導體裝置不同製作層上需設計對位標記(overlaymark)。當前製作層(currentlayer,以下 ...
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